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測量SF6斷路器內(nèi)SF6氣體的濕度是其主要的測量項目。由于密封墊等部位的老化，漏氣率會增加，大氣中的水分會向氣腔內(nèi)擴散而增加了氣室內(nèi)的濕度。水分將使其絕緣強度降低，且參與電弧作用下的分解反應(yīng)，生成電弧副產(chǎn)物而腐蝕，老化某些結(jié)構(gòu)材料。為此在《預(yù)規(guī)》中對于SF6的濕度作了規(guī)定，見表1.

表1 SF6氣體濕度標準

允許值 （20℃V/Vppm）	斷路器滅弧室氣室	其他氣室
大修后	150	250
運行中	300	500

測量濕度的儀器有多種，例如：國產(chǎn)的HTCMS10型SF6智能微量水分測試儀；HTCMS20型微量水分測試儀；瑞士的DP-3露點儀；美國的N-340型微水測定儀等，進口的設(shè)備往往隨設(shè)備供貨，并有使用說明。應(yīng)該注意的是：對同一臺SF6斷路器應(yīng)該用同一微分測試儀測試；測試宜在夏季進行；新裝及大修后1年內(nèi)復(fù)測1次（安裝后交接試驗也需測試），如濕度符合要求，則正常運行中1~3年（35kV以上）1次。