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在電場(chǎng)的作用下，當(dāng)電場(chǎng)強(qiáng)度足夠大時(shí)，介質(zhì)內(nèi)部的電子帶著從電場(chǎng)獲得的能量，急劇地碰撞它附近的原子核離子，使之游離。因游離而產(chǎn)生的自由電子在電場(chǎng)的作用下又繼續(xù)對(duì)其他原子或離子發(fā)生碰撞，這個(gè)過(guò)程不斷地發(fā)展下去，使自由電子越來(lái)越多，在電場(chǎng)作用下定向流動(dòng)的自由電子多了，如此，不斷循環(huán)下去，終于在絕緣結(jié)構(gòu)中形成了導(dǎo)電通道，絕緣性能就完全被破壞。這就是電擊穿的機(jī)理。

電擊穿的特點(diǎn)是：外施電壓比較高：強(qiáng)電場(chǎng)作用的時(shí)間相當(dāng)短便發(fā)生擊穿，通常不到1s；擊穿位置往往從場(chǎng)強(qiáng)最高的地方開(kāi)始（如電極的尖端或邊緣處）；電擊穿與電場(chǎng)的形狀有關(guān)，而幾乎與溫度無(wú)關(guān)。